描述:德國(guó)PI線性壓電撓性位移臺(tái)PI的納米定位平臺(tái)和掃描儀將納米精度的分辨率和引導(dǎo)精度與小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計(jì)量,微觀過(guò)程,干涉測(cè)量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的參考應(yīng)用。
德國(guó)PI線性壓電撓性位移臺(tái)
PI的納米定位平臺(tái)和掃描儀將納米精度的分辨率和引導(dǎo)精度與小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計(jì)量,微觀過(guò)程,干涉測(cè)量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的參考應(yīng)用。
帶有PICMA®壓電執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)器和撓性導(dǎo)軌的線性壓電平臺(tái)可用于大1.5 mm的行程。
型號(hào)介紹:
壓電撓性線性平臺(tái)
P-630高動(dòng)態(tài)壓電納米定位系統(tǒng)
1軸大孔徑
P-753 LISA線性執(zhí)行器和平臺(tái)
動(dòng)態(tài)穩(wěn)定
P-752高精度納米定位臺(tái)
高動(dòng)態(tài)和穩(wěn)定的壓電掃描儀,具有極其精確的引導(dǎo)
PI P-750
P-750壓電納米定位系統(tǒng)
具有直接計(jì)量功能的高負(fù)載壓電驅(qū)動(dòng)納米定位系統(tǒng)
P-611.1線性壓電定位系統(tǒng)
廉價(jià),緊湊的線性定位系統(tǒng)
PI P-712
P-712線性壓電掃描儀
緊湊型OEM系統(tǒng)
P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線性定位器
可變行程范圍和軸配置
壓電撓性垂直平臺(tái)
P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直Z定位器
可變行程范圍和軸配置
S-303壓電移相器
高動(dòng)態(tài),納米級(jí)壓電移相器
P-733.Z高動(dòng)態(tài)Z納米定位儀/掃描儀
直接位置測(cè)量和通光孔徑
P-612.Z壓電Z舞臺(tái)
帶孔的緊湊型納米定位器
P-611.Z壓電Z舞臺(tái)
緊湊型納米定位器
特色定制
PI P-725KHDS
P-725KHDSPIFOC®高動(dòng)態(tài)物鏡掃描儀
重型物鏡的納米分辨率
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德國(guó)PI線性壓電撓性位移臺(tái)