描述:進(jìn)口PI P-713 XY壓電掃描儀PI的壓電陶瓷柔性鉸鏈平臺(tái)將亞納米級(jí)分辨率和導(dǎo)向精度以小串?dāng)_相結(jié)合。這使得其特別適用于計(jì)量學(xué)中的應(yīng)用、超高分辨率顯微鏡、干涉測(cè)量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的檢測(cè)系統(tǒng)。壓電陶瓷柔性鉸鏈平臺(tái)可用于毫秒穩(wěn)定定位和動(dòng)態(tài)掃描,頻率高達(dá)幾百赫茲,多達(dá)六自由度。
進(jìn)口PI P-713 XY壓電掃描儀
P-713 XY壓電掃描儀
產(chǎn)品特點(diǎn):
· 特別適用于圖像增強(qiáng)的像素子步進(jìn)
· 緊湊型設(shè)計(jì):45毫米×45毫米×6毫米,帶通光孔徑
· 具成本效益的設(shè)計(jì)
· 行程達(dá)20微米×20微米
· 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更高動(dòng)態(tài)和更佳多軸精度
PI微型平臺(tái)
小型平臺(tái)和操縱器在空間受限的應(yīng)用中*, 包括用于測(cè)量和醫(yī)藥設(shè)備的移動(dòng)應(yīng)用、工業(yè)微裝配或超高真空和無磁性環(huán)境等條件中的研究應(yīng)用。
擁有的壓電電機(jī)技術(shù)可實(shí)現(xiàn)特定的集成解決方案。由于精度僅受集成式傳感器的限制,所有壓電電機(jī)解決方案都可實(shí)現(xiàn)納米以下的高分辨率 。靜止?fàn)顟B(tài)下自鎖,無能量消耗,因而特別適用于一勞永逸型應(yīng)用。從機(jī)架式型號(hào)至OEM模塊再到用于集成的智能芯片,多種型式的驅(qū)動(dòng)器和運(yùn)動(dòng)控制器可供貨。
PI線性平臺(tái)
PI提供多種多樣的機(jī)動(dòng)化線性平臺(tái)。應(yīng)用的多樣性也意味著線性軸具有多種技術(shù)可能性。行程從數(shù)毫米擴(kuò)展至數(shù)米,精度等級(jí)從納米級(jí)達(dá)微米級(jí):PI使其驅(qū)動(dòng)器、導(dǎo)向或傳感器技術(shù)適應(yīng)于不同的應(yīng)用條件。
大量不同的型號(hào)可提供真空版本。多軸組合可通過轉(zhuǎn)接支架實(shí)現(xiàn),利用匹配的Z向位移臺(tái)和轉(zhuǎn)臺(tái)還可實(shí)現(xiàn)更加緊湊的結(jié)構(gòu)。
運(yùn)動(dòng)控制器可為臺(tái)式設(shè)備、機(jī)架版本或緊湊型OEM設(shè)備。它們的共同因子是通過通用指令集(GCS)進(jìn)行指令控制,從而簡(jiǎn)化控制和編程,且不受驅(qū)動(dòng)器類型的限制。
多軸工業(yè)應(yīng)用中帶ACS運(yùn)動(dòng)控制器的多軸系統(tǒng)可供貨。對(duì)于和以運(yùn)動(dòng)為中心的工業(yè)應(yīng)用,其可實(shí)現(xiàn)利用現(xiàn)場(chǎng)總線接口進(jìn)行簡(jiǎn)易集成。
PI V-508 PIMag線性平臺(tái)
適應(yīng)能力強(qiáng)
構(gòu)造可實(shí)現(xiàn)需求的靈活適應(yīng)。通過采用不同的行程、驅(qū)動(dòng)器和測(cè)量系統(tǒng),產(chǎn)品可同樣適用于技術(shù)復(fù)雜、臨界成本應(yīng)用。XY組件也可實(shí)現(xiàn)
交叉滾柱導(dǎo)軌
對(duì)于交叉滾柱導(dǎo)軌,滾珠導(dǎo)軌中的滾珠的接觸點(diǎn)被淬火滾柱的線接觸取代。因此,它們的剛度明顯提高,需要的預(yù)載更小,這減少了摩擦并實(shí)現(xiàn)了更平滑的運(yùn)行。交叉滾柱導(dǎo)軌還具有高導(dǎo)向精度和高負(fù)載能力的特征。力導(dǎo)向滾動(dòng)體保持架防止保持架蠕變。
應(yīng)用領(lǐng)域
工業(yè)和科研。半導(dǎo)體或醫(yī)學(xué)技術(shù)中的測(cè)量技術(shù)、光子學(xué)及掃描
PI Mag磁力直接驅(qū)動(dòng)
三相磁性直接驅(qū)動(dòng)器在動(dòng)力傳動(dòng)系統(tǒng)中未使用機(jī)械零件,其可直接將驅(qū)動(dòng)力傳輸至運(yùn)動(dòng)平臺(tái),且無摩擦。驅(qū)動(dòng)器可實(shí)現(xiàn)高速度和高加速度。
無鐵芯電機(jī)非常適合對(duì)精度有超高要求的定位任務(wù),因?yàn)槠洳粫?huì)與性磁鐵發(fā)生不良作用。這樣即使在低的速度下也能保持平穩(wěn)的運(yùn)行,同時(shí),在高速狀態(tài)下也不會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)。避免了控制的非線性行為并且每個(gè)位置都很容易控制。驅(qū)動(dòng)力可任意設(shè)定。
力和加速度需要在有限安裝空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)時(shí),使用鐵芯電機(jī)。鐵芯設(shè)計(jì)使磁力大化,確保驅(qū)動(dòng)器的高熱穩(wěn)定性。
直接位置測(cè)量
以*的精度直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上進(jìn)行位置測(cè)量,因此非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會(huì)對(duì)位置測(cè)量造成影響。
進(jìn)口PI P-713 XY壓電掃描儀